SOI vrste materijala

Trenutačno se najrašireniji i najperspektivniji SOI materijali nalaze SIMOX (odvajanje implantiranim kisikom) materijali, BESOI (Bonding-Etchback SOI) materijali s lijepljenjem silikonskih ploča i obrnutim jetkanjem te Smart Cut SOI materijali koji kombiniraju spajanje i ubrizgavanje. Među ova tri materijala, SIMOX je prikladan za izradu tankoslojnih potpuno osiromašenih ultra-velikih integriranih krugova, BESOI materijali su prikladni za izradu djelomično osiromašenih integriranih krugova, a Smart Cut materijali su vrlo obećavajući SOI materijali, koji će vjerojatno postati glavni tok SOI materijala u budućnosti.
Opseg primjene
Uz svoje jedinstvene prednosti, koristi se u integriranim krugovima, a također se koristi u proizvodnji mikro-opto-elektromehaničkih MEMS sustava, kao što su 3D sklopke zrcalnog niza. Zrcalo se formira formiranjem pomičnog zrcala u aktivnom sloju SOI supstrata i njegovim spajanjem na supstrat druge elektrode u obliku koraka. Budući da se koristi monokristalni silicijski supstrat, a reflektirajući film formira simetrično na gornjoj i donjoj površini pomičnog zrcala promjera 500 mikrona pod istim uvjetima, ima iskrivljenost od 10 nanometara i hrapavost površine od desecima nanometara.